Generátor čistej pary je zariadenie, ktoré využíva vodu na vstrekovanie alebo čistenú vodu na výrobu čistej pary. Hlavnou časťou je vodorovná nádrž na čistenie vody. Zásobník ohrieva deionizovanú vodu parou z bojlera, aby sa vytvorila para s vysokou čistotou. Predhrievač a výparník nádrže využívajú intenzívnu bezšvovú rúrku z nehrdzavejúcej ocele. Okrem toho je možné nastavením výstupného ventilu získať paru vysokej čistoty s rôznym protitlakom a prietokom. Generátor je použiteľný na sterilizáciu a môže účinne zabrániť sekundárnemu znečisteniu spôsobenému ťažkými kovmi, zdrojom tepla a inými hromadami nečistôt.